2.2.1 Die Geometrie



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2.2.1 Die Geometrie

Die Geometrie ist in PIF hierarchisch aufgebaut. Die Punkte werden durch ihre Koordinaten in einem kartesischen Koordinatensystem spezifiziert. Mit Hilfe der Punkte werden Linien gebildet, über die Linien Flächen definiert und über die Flächen Körper. Aus den Flächen werden im zweidimensionalen Fall sogenannte Segmente zusammengesetzt. Im dreidimensionalen Fall bestehen die Segmente aus Körpern. Alle Flächen müssen eben und einfach zusammenhängend, alle Linien gerade sein. In dieser Arbeit werden zweidimensionale Daten verwendet.

Im Unterschied zu den Flächen, die nur als geometrische Hilfsmittel dienen, haben Segmente eine physikalische Bedeutung für die Simulation. Ein Segment ist in PIF ein Gebiet (ein- oder mehrfach zusammenhängend), für das eine bestimmte Material- und Dotierungsbeschreibung existiert. Dieses Segment kann aus einer oder mehreren Flächen bestehen, die an unterschiedlichen Orten liegen können. Im Zweidimensionalen kann das zum Beispiel dadurch verursacht sein, daß eine im Dreidimensionalen geschlossene Verbindung eines Metallsegments besteht (also einer Leiterbahn). Bildet man einen zweidimensionalen Schnitt, so kann das dreidimensional zusammenhängende Gebiet in mehrere Einzelteile zerfallen, die jedoch auch im Rahmen der zweidimensionalen Simulation als leitend verbunden betrachtet werden müssen. Darum sind diese Einzelteile jeweils aus einer oder mehreren Flächen aufgebaut, bilden aber nicht jeweils ein Segment für sich sondern sind Teile eines gemeinsamen Segments, dessen Flächen auf die verschiedenen Einzelgebiete aufgeteilt sind.

Für den Simulator ist ein Segment ein Gebiet, das nach demselben Satz physikalischer Modelle zu behandeln ist. So wird bei zwei getrennten Flächen eines Metallsegments das Potential gleichgesetzt, weil in ideal leitenden Segmenten ein durchgehendes Potentialniveau angenommen wird. Das kann bei verkoppelter Simulation dazu verwendet werden, um mit einem Metallsegment, das aus verschiedenen Flächen besteht, verschiedene Einzelbauteile leitend zu verbinden (Kapitel 7).

Ein Segment kann auch dann aus unzusammenhängenden Flächen bestehen, wenn eine ursprünglich durchgehende Schicht durch einen Ätzprozeß getrennt wurde, wie das bei der HEMT-Struktur in Kapitel 11 für die stark dotierten Kontaktierungsschichten der Fall ist.



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Martin Stiftinger
Fri Oct 21 18:22:52 MET 1994